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CVD气相沉积的材料特性和功能特点介绍

点击次数:641 发布时间:2022/9/19
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CVD气相沉积采用双层壳体结构和40段程序控温系统,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料,管式炉双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温,采用99刚玉管、两端用不锈钢法兰密封,用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点。适用于铜钨合金、铝镍钴永磁、钕铁硼、碳纤维石墨化,碳碳复合材料,碳化硅制品,钨钼及其他合金材料的真空或气氛高温烧结,也可作为其他金属材料的热处理及气相沉积。

 
  CVD气相沉积炉管为定制下细上粗不锈钢管,炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔径可单独定制。粉末可放在多孔石英板上,气体从下而上穿过粉末颗粒,当气流速度达到或超过颗粒的临界流速时料层中颗粒呈上下翻腾,在一定温度和气氛下,充分反应沉积。
 
  CVD气相沉积的功能特点:
  1、采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式,可加热包括金属在内的非易燃易爆材料,
 
  2、升温速率快,智能控温,可分段设置,控温稳定度好,热惯性小。同时加热多个温区,且加热区长度可调。
 
  3、可通各种气氛,抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵,可达真空状态。
 
  4、炉体采用不锈钢密封法兰(铰链结构);
 
  5、保护管采用合金管,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;
 
  6、炉体配有自动冷却风扇,降低温度;
 
  7、真空系统:机械泵扩散泵和分子泵,真空密度计
 
  8、可通过电脑全程监控和调试。


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