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产品名称:小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP

产品型号:

更新时间:2021-08-17

产品特点:OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4“ 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(Z大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热Z快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。

技术参数

技术参数:



炉体结构

  • 双层莫来石钢构(不带水冷或风冷)

  • 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

加热元件

8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm

加热区

12" length with 4"X12"恒温区( +/-5ºC )

石英管和样品架

  • 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

  • 3" 的样品架固定在滑动法兰上,石英材料

  • 一片3"  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。

  • AlN 具有很高的热导率,所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C

真空法兰

  • 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作,两个高温“O"型圈密封

  • 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。

水冷

如果要求通冷却水.

  • 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20ºC; 水压 > 25 PSI

  • 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统(为了节约用水).

  • 警告:  这款 RTP 炉在1000ºC ~ 1100ºC下保温时间不超过 600 秒,否则“ O"圈将被烧融

流量计

范围: 16 - 160 ml/min

真空表

  • 数字真空表,测量范围:10mtorr~800 torr .

  • 可选本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

真空度

  • 用机械泵真空度达 50 mtorr .

  • 用分子泵真空度可达 10-4 torr .

温度控制

PID 自动控制, 可控硅 SCR

热偶

进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下。

温控仪

  • PID 自动控制,30段程序带过热和断偶保护功能

  • 热偶: 进口K type

  • 自整定功能

  • 控温精度: +/- 1°C

  • RS485 串口和温控软件(模块和数据线需要另购)   温控操作视频:点击查看

快升温速度

室温~800℃: 50 oC/sec ,800℃~1000℃: 10oC/sec

           新升温曲线 直接升温到1000℃分阶段升温数据  请点击查看

快降温速度

60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一个大气压下)

选择:  为得到较快的降温速度 < 10°C/秒, 你可以选择带滑轨的 RTP 炉,如下图:

温度

高1100ºC ,额定1000°C

电源

208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 9 KW Max. (> 60A 保险)

尺寸

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

重量

45 kg (100 lbs)

保修期

电器部分一年质保期 (耗材:如炉管,“O"型圈和加热灯管等不在保修范围内)

认证

 CE 认证


标准装箱单

商品编码

名称

数量

图片

EQ-CVM-211

数字真空计: 10-4 Torr

1

RT36-00

63A保险

2

RT14-20

4A保险

2

RTP-ACC-01

石英样品架

1

AIN-Holder

样品架上的AlN基片

1

KSL7-05

高温手套, 耐 900 oC

1 pair

EQ-QZTube-RTP

石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

1

RTP-ACC-02

石英挡板

4pcs  

聚氨酯水管 O.D. 12mm I.D. 8mm

1

高温硅胶圈(6 个)

9

EQ-RTP-Halogen-light

红外灯管

8

水管接头

2

一对真空法兰

1

N/A

          EQ-KF-Clamp-D25           KF-D25 快接2                  



高真空选配清单

为了获得较高的真空,我们建议使用 KF25 适配器和不锈钢真空管 (达50 mtorr),

名称

数量

l图片

真空泵, 两级旋片Two Ste高速真空泵和两级排气系统和KF-D25 适配器(110V or 220V)

1

配KF-D25口的波纹管  (1m)

1

KF-D25 真空快接

1



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