输入电源

208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

  RF发生器

• 输出频率：20-23kHz , 25KV
• 等离子枪头：仪器中包括两种等离子枪头：圆形头：10-12mm，矩形头：15-18mm  

  输入气体气压，   工作气体

• 40 PSI min.(0.055 Mpa)
• Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )

等离子体工作压力

7- 10 PSI

  工作环境

温度 < 42°C，湿度 ≤ 40℃RH

  样品台和控制柜

• 配有可在X-Y轴移动的样品台，通过步进电机驱动，采用SBC控制盒控制
• 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离
• 控制盒采用LCD显示，可设置其等离子枪头的扫描程序。
• 大扫描范围：8" x 9"
• 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上，可吸住直径为6"的样品。
• 配有一真空泵，可与真空吸盘相连接
• 整个系统安装在一移动架上（600x600x 800Lmm）
• 可选：可选加热样品台（高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。

  尺寸&重量

• 处理样品台尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H
• 等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
• 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H
• 重量：55kg

  质保&质量认证

一年质保期，终生维护

CE认证