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产品名称:等离子清洗机

产品型号:PCE-80

更新时间:2021-12-02

产品特点:PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 “dia x 12““L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

技术参数

 输入电源

  • AC 220V , 50/60 Hz, 
  • 大射频功率: 100 W 
  • 真空泵功率: < 500W
  • 总功率: < 600W

 射频功率

  • 射频功率可在 0 - 100W之间调节
  • 射频:   13,56 MHz
  • 可以与本公司工作人员采用300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验

 等离子腔体

  • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体
  • 铝制折叠式法兰来进行真空密封
  • 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

 控制面板

  • 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.
  • 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量

 真空泵

  • 仪器中包括一台240L/min直联式双旋真空泵、KF25波纹管以及KF25的手动挡板阀。
  • 极限真空度为50mTorr

 通入气体

等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, AirH2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

 可选

  • 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片
  • 可选购2-4通道质子或浮子混气系统

 外型尺寸

620 L ×450 W ×600 H, mm

 质保期

一年质保期,终生维护

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