产品名称:膜厚监测仪--EQ-TM106
产品型号:
更新时间:2024-04-09
产品特点:EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。
技术参数
主要特点 |
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EQ-TM106-1监测组件
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EQ-TM106-2显示仪
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EQ-TM106-3探头
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标准配件 |
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质保期 | 一年质保期,终身维护 |
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