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产品名称:小型PVE管式炉系统

产品型号:OTF-1200X-50S-PE

更新时间:2021-11-15

产品特点:OTF-1200X-50S-PE是一款小型等离子体气相沉积管式炉系统(PECVD)。该设备配有等离子射频电源,开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)及一个直联式双旋机械泵。此套设备模型可组合为不同类型的PECVD系统,且设备性价较为理想。

产品特点:

射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;

整套设备尺寸小巧;

可通过工艺调节来控制化学计量;

可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。

加热炉参数:

最高温度:1100℃(《30min);连续工作温度:1000℃

•PID温度控制器及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃

输入电源:208- 240V AC,功率:1.2KW

炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命。

射频电源:

image.png 

真空系统:

采用TRP-12的双旋真空泵;

•KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

真空度可达10-2Torr

产品尺寸和重量:

尺寸:1500mm L'600mm W'1200mm H

净重: 75 kg

 

质保:

一年保质期,终身维护,不包括炉管,硅胶密封圈和加热元件


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