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产品名称:磁控溅射卷绕镀膜机

产品型号:

更新时间:2021-11-30

产品特点:磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备,适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜(铜,铝等)功能性薄膜,设备采用先进的磁控溅射镀膜技术,配备直流、射频磁控溅射系统,适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

品牌其他品牌应用领域医疗卫生,环保,化工,生物产业,电子

产品介绍:

磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备,适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜(铜,铝等)功能性薄膜,设备采用先进的磁控溅射镀膜技术,配备直流、射频磁控溅射系统,适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

技术参数:

产品名称磁控溅射卷绕镀膜机
主要参数
卷膜条件
镀膜材料:PET 和无纺布
适用制膜:软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。
基材厚度:125~300μm
有效镀膜宽幅:≤800 mm
最大卷绕直径:Φ400 mm
卷绕芯轴内径:4 寸
基材卷绕速度:1~2 m/min
基材卷绕张力:30 ~ 200 N
张力系统:交流伺服
溅镀方式:单面
真空条件
极限真空(空载、洁净):8×10-4Pa
恢复真空时间(空载、清洁):105Pa ~ 5×10-3Pa≤60 min
系统真空漏率:1.0×10-10 Pa.m3/s
磁控溅射阴极数量:3 个
膜均匀性偏差:≤±10%


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