欢迎来上海添时科学仪器有限公司!我们将为您提供周到的服务!
联系我们Contact us
公司名称:上海添时科学仪器有限公司
联系人:范先生
固话:021-54338590
手机:18016035557
地址:上海市松江区沪亭南路299弄38号
首页 > 产品中心 > 清洗设备 > 等离子清洗 > 小型-等离子清洗机

产品名称:小型-等离子清洗机

产品型号:PCE-6

更新时间:2021-12-07

产品特点:PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率为3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。PCE-6小型等离子清洗机体积小,占用的空间少,

品牌其他品牌仪器种类通用型
价格区间面议产地类别国产
应用领域医疗卫生,化工,生物产业,能源,电子

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率为3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。PCE-6小型等离子清洗机体积小,占用的空间少,可有效节约实验室空间。PCE-6小型等离子清洗机配有一个双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等气体,适用于对易氧化的物品的清洗。1、通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
2、时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
3、设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体,进气接口为6mm卡套接口。
4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

产品名称      
PCE-6小型等离子清洗机
产品型号      
PCE-6
主要参数      
1、电源:AC220V  50/60Hz
2、输出功率:7.2W、10.2W、29.6W
3、真空泵功率:<500W
4、总功率:<600W
5、射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
6、等离子腔体:高纯石英腔体Ø160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Ø45mm的观察窗
7、真空泵:120L/min,直连式双旋真空泵
8、极限真空度:50mtorr

9、通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)

清洗及蚀刻

产品规格      

尺寸:400mm×300mm×300mm

重量:10.2kg

可选配件      1、2"-6"石英舟(盛放基片)
2、2-4通道质子或浮子混气系统


 相关同类产品:

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

上海添时科学仪器有限公司 版权所有  ICP备案号:沪ICP备14051797号-1 管理登陆  总流量:751727  网站地图  技术支持:化工仪器网

扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站