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产品名称:半柜式清洗机

产品型号:VTC-200-CE

更新时间:2021-12-07

产品特点:VTC-200-CE半柜式清洗机采用直线导轨控制柱状液流沿 wafer.半径方向来回扫动,同时配备有去离子水淸洗和氮气吹干功能,采用高精度伺服电机控制 wafer的旋转,由七寸全彩触屏进行操作,全不锈钢机柜,耐腐蚀透明观察盖,丝杆直线导轨,不锈钢内腔,设计合理,经久耐用。伺服马达控制旋转速度和时间,自动控制显影、清洗和吹干,显影/清洗均匀性和重复性好。

品牌其他品牌仪器种类通用型
价格区间面议产地类别国产
应用领域医疗卫生,化工,生物产业,能源,电子

VTC-200-CE半柜式清洗机采用直线导轨控制柱状液流沿 wafer.半径方向来回扫动,同时配备有去离子水淸洗和氮气吹干功能,采用高精度伺服电机控制 wafer的旋转,由七寸全彩触屏进行操作,全不锈钢机柜,耐腐蚀透明观察盖,丝杆直线导轨,不锈钢内腔,设计合理,经久耐用。伺服马达控制旋转速度和时间,自动控制显影、清洗和吹干,显影/清洗均匀性和重复性好。1、不锈钢半柜式设计,触摸屏操作
2、透明观察窗,带排废和抽风功能
3、可移动式直线导轨清洗,行程可定制
4、最多可配备四路清洗或氮气吹干系统
5、可处理最大基片尺寸为8寸晶圆,向下兼容
6、更大尺寸可定制

产品名称      
VTC-200-CE半柜式清洗机
产品型号      
VTC-200-CE
主要参数      
1、旋转速度可调范围:20-10000rpm
2、加速度可调范围:0-50000rpm/s
3、标配直线导轨行程:100mm;最大移动速度:100mm/s
4、标配两路喷液系统,扇形或柱形喷嘴可选
5、标配10L不锈钢压力桶两只,其它规格可选
6、清洗液或氮气加温系统可选配
产品规格      

尺寸:940mm(长)×800mm(宽)×1100mm(高)


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