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产品名称:膜厚检测仪

产品型号:PM100-SE

更新时间:2021-06-30

产品特点:膜厚检测仪
快速测量,仅需1-2s即可完成一次测量
大范围膜厚测量,可测量膜厚范围从15nm-70μm
常规操作只需点击一个按钮即可运行,操作简便
适用于工业现场,稳定可靠
能够满足膜厚的常规测量,经济实用

膜厚检测仪

产品介绍

快速测量,仅需1-2s即可完成一次测量
大范围膜厚测量,可测量膜厚范围从15nm-70μm
常规操作只需点击一个按钮即可运行,操作简便
适用于工业现场,稳定可靠
能够满足膜厚的常规测量,经济实用

产品参数

快速测量:最大典型12寸晶圆(即直径300mm)
膜厚测量范围:15nm-75μm (对Si上的SiO2样品)
膜层数目:1-4层
膜厚测量重复性:0.1nm(对Si上100nm的SiO2样品)
准确度:2nm或0.4%(对Si上的SiO2样品)

膜厚测试仪,分为手持式和台式二种,手持式又有磁感应镀层测厚仪,电涡流镀层测厚仪,荧光X射线仪镀层测厚仪。手持式的磁感应原理时,利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小,来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小,来表示其覆层厚度。
台式的荧光X射线膜厚测试仪,是通过一次X射线穿透金属元素样品时·产生低能量的光子,俗称为二次荧光,,在通过计算二次荧光的能量来计算厚度值。
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