产品名称:膜厚检测仪
产品型号:PM100-SE
更新时间:2021-06-30
产品特点:膜厚检测仪快速测量,仅需1-2s即可完成一次测量大范围膜厚测量,可测量膜厚范围从15nm-70μm常规操作只需点击一个按钮即可运行,操作简便适用于工业现场,稳定可靠能够满足膜厚的常规测量,经济实用
品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工 |
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快速测量 | 最大典型12寸晶圆(即直径300mm) | 膜厚测量范围 | 15nm-75μm (对Si上的SiO2样品) |
膜层数目 | 1-4层 | 膜厚测量重复性 | 0.1nm(对Si上100nm的SiO2样品) |
准确度 | 2nm或0.4%(对Si上的SiO2样品) |
膜厚检测仪
产品介绍
快速测量,仅需1-2s即可完成一次测量
大范围膜厚测量,可测量膜厚范围从15nm-70μm
常规操作只需点击一个按钮即可运行,操作简便
适用于工业现场,稳定可靠
能够满足膜厚的常规测量,经济实用
产品参数
快速测量:最大典型12寸晶圆(即直径300mm)
膜厚测量范围:15nm-75μm (对Si上的SiO2样品)
膜层数目:1-4层
膜厚测量重复性:0.1nm(对Si上100nm的SiO2样品)
准确度:2nm或0.4%(对Si上的SiO2样品)
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