产品名称：膜厚检测仪
产品型号：PM100-SE
更新时间：2021-06-30
产品特点：膜厚检测仪快速测量，仅需1-2s即可完成一次测量大范围膜厚测量，可测量膜厚范围从15nm-70μm常规操作只需点击一个按钮即可运行，操作简便适用于工业现场，稳定可靠能够满足膜厚的常规测量，经济实用
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 快速测量 | 最大典型12寸晶圆（即直径300mm) | 膜厚测量范围 | 15nm-75μm (对Si上的SiO2样品) |
| 膜层数目 | 1-4层 | 膜厚测量重复性 | 0.1nm(对Si上100nm的SiO2样品) |
| 准确度 | 2nm或0.4%（对Si上的SiO2样品） |
膜厚检测仪
产品介绍
快速测量，仅需1-2s即可完成一次测量
大范围膜厚测量，可测量膜厚范围从15nm-70μm
常规操作只需点击一个按钮即可运行，操作简便
适用于工业现场，稳定可靠
能够满足膜厚的常规测量，经济实用
产品参数
快速测量：最大典型12寸晶圆（即直径300mm)
膜厚测量范围：15nm-75μm (对Si上的SiO2样品)
膜层数目：1-4层
膜厚测量重复性：0.1nm(对Si上100nm的SiO2样品)
准确度：2nm或0.4%（对Si上的SiO2样品）
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