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公司名称:上海添时科学仪器有限公司
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全自动清洗机 适用于2至6英寸晶圆的清洗工艺 6寸以下wafer全自动清洗工艺处理 适合产能要求较高的批量产线 可选配MES协议转换模块《查看更多》
清洗机 适用于5、6英寸Mask清洗工艺 可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体 自动清洗多种规格MASK掩膜光罩 可接受不同规格MASK清洗定制《查看更多》
半柜式/全柜式清洗机 适合于8英寸及以下晶圆的单片清洗工艺 根据客户要求可选配高压、兆声、二流体等多种清洗工艺 不锈钢半柜式、柜式柜体,触摸式人机交互界面 耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统 可配置清洗液、氮气温控功能 可配置增压泵高压清洗 高精度清洗臂,可灵活设置清洗工艺《查看更多》
清洗机 适用于5、6英寸Mask清洗工艺 可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体 自动清洗多种规格MASK掩膜光罩 可接受不同规格MASK清洗定制《查看更多》
全自动喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺 全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板 高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能 供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调 高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调 触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控《查看更多》
全自动/轨道式去胶剥离机 适用于8英寸及以下规格晶圆的去胶剥离工艺(Liftoff工艺) 不锈钢柜体,触摸式人机交互界面 耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统 8寸以下化合物(钽酸锂等)全自动去胶剥离工艺处理 适合声表滤波器(SAW)行业产能要求适中的批量产线 可选配MES协议转换模块《查看更多》
刻蚀机 适合于8英寸及以下晶圆的单片刻蚀工艺 可选耐腐蚀PP柜体 可按客户需求定制设备规格 全自动摆臂、可配备多路刻蚀液 触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态 可选蚀刻液加热控温及FFU功能 专用排风、排废系统、提高设备的安全性《查看更多》
全自动标准8寸匀胶显影机 适用于2至6英寸晶圆的匀胶显影工艺 最大设备配置:4套匀胶(显影)、10套热(冷)板单元 6寸以下wafer全自动匀胶/显影,烘烤全自动工艺处理 整机适合产能要求较高的批量产线 根据客户工艺需求可加装温湿度控制、离子风棒等模块 可选配MES协议转换模块《查看更多》
全自动标准2-6寸匀胶显影机 适用于2至6英寸晶圆的匀胶显影工艺 最大设备配置:4套匀胶(显影)、10套热(冷)板单元 6寸以下wafer全自动匀胶/显影,烘烤全自动工艺处理 整机适合产能要求较高的批量产线 根据客户工艺需求可加装温湿度控制、离子风棒等模块 可选配MES协议转换模块《查看更多》
轨道式匀胶显影机 适用于8英寸及以下晶圆的匀胶显影工艺 最大设备配置:2套匀胶(显影)单元、4套热(冷)板单元 可选8寸以下多种wafer尺寸全自动匀胶/显影,烘烤工艺处理 整机性价比高,适合产能要求适中的批量产线 根据客户工艺需求可加装等离子风棒等模块 可选配MES协议转换模块《查看更多》
超大型匀胶机 适用于直径450mm-2000mm的非规则重载基底匀胶工艺 可根据客户基片规格及工艺定制设备 不锈钢全柜式柜体,多级安全系统 透明观察窗,配置专业排风及排废系统 可配置自动胶臂滴胶功能 触摸式人机交互界面,可灵活设置100组工艺配方《查看更多》
大型匀胶/显影机 适用于直径450mm-800mm的非规则重载基底匀胶工艺 可根据客户基片规格及工艺定制设备 不锈钢全柜式柜体,多级安全系统 透明观察窗,配置专业排风及排废系统 可配置自动胶臂滴胶功能 触摸式人机交互界面,可灵活设置100组工艺配方《查看更多》
匀烤胶一体机 适用于8英寸及以下晶圆的匀胶烤胶工艺 可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体 配置自动供胶系统,根据客户工艺选择供胶方式 触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态 高精度伺服控制系统,满足匀胶工艺要求 可选配去边、背洗、光刻胶温控等功能 专业匀胶腔体,通过气流控制可有效提升工艺指标 可选配置空气净化单元(FFU)《查看更多》
显影机 适用于8英寸及以下晶圆的匀胶工艺 可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体 全自动显影摆臂,可实现显影液、去离子水、氮气的自动喷洒及吹干 根据工艺要求可选择柱形、扇形显影喷嘴 高精度伺服控制系统,性能稳定 升降式显影腔体,可有效防止显影液体的飞溅 根据工艺需求可选配显影液控温、FFU等功能《查看更多》
喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺 全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板 高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能 供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调 高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调 触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控《查看更多》
玻璃制刀机 采用平衡断裂法,确保制造出优秀的刀片 取出抽屉采用双导轨结构,更方便、稳定、耐用 玻璃刀滚轮可自动锁定、复位,有效降低操作失误率 玻璃刀压力可调,适配不同厚度的玻璃 玻璃条定位机构操作简单,稳定可靠 刀肩大小调节方便,提高操作精度 配载划痕长度快速切换装置,操作便捷《查看更多》
超薄切片机 全新设计,切片运动采用直流无刷电机,提高运动稳定性 人性化设计,配载退刀流程,减少样品损坏度 数字化操作界面,一键回程按钮,操作便捷 设备适配多种宽度刀具,适配各项工艺操作 配载分离式控制盒槽孔,保证切片质量 外接式体式显微镜,可实时记录实验步骤《查看更多》
金属圆片冲孔仪 全新设计的TEM冲样器,卧式工作方式,简单轻松,无应力变形和明显毛刺,性能可靠耐用无需维护 冲头采用高品质模具钨钢,数控磨床精密加工成型,同轴度高,表面光洁,配合间隙可控,减少毛刺的产生 冲头经过热处理进一步提高表面硬度,可实现万次以上冲切,免维护 冲样器基座,采用铝合金加工,轻便灵巧 杠杆式用力方式,力道适中,压合轻松,有适当回弹力 自动卸料机构,冲切后样品自动顶出落入收集盒,拿《查看更多》
金属圆片冲孔仪 立式冲切,省力美观 冲头采用普通钨钢,经久耐用 基座采用铝合金机加而成,轻便稳当 杠杆式用力方式,力道适中,压合轻松,有适当回弹力 标准冲切样品直径p3mm,根据需要可定制不同尺寸《查看更多》
基本型带电解抛光功能双喷仪 采用加液氮制冷方式,控制盒与电解槽分开控制,抛光破孔自动报警 抛光电压、电流值液晶数显,抛光电压、感光值及流速旋钮可调 磁力涌流式喷射抛光,进口pvc材料整体成型加工,无泄漏风险 可选配电解抛光喷嘴及夹子升级电解抛光功能,满足EBSD样品制备《查看更多》
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