产品名称：喷胶机
产品型号：SP200
更新时间：2021-07-01
产品特点：喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 控温范围 | 50-150℃ | 温度均匀性 | ±1% |
| 光刻胶流量 | 0.4-20ml/min | 加热平台转速 | 1-30rpm |
| 喷嘴水平移动速度 | ≤200mm/s | 喷嘴水平行程 | ≤300mm |
| 光刻胶雾化直径 | 30-50μm | 设备尺寸 | 1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H) |
喷胶机
适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺
全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板
高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能
供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调
高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调
触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控
产品参数
控温范围：50-150℃
温度均匀性:±1%
3光刻胶流量:0.4-20ml/min
加热平台转速:1-30rpm
喷嘴水平移动速度:≤200mm/s
喷嘴水平行程:≤300mm
光刻胶雾化直径:30-50μm
设备尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
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