产品名称：匀烤胶一体机
产品型号：SH200
更新时间：2021-07-01
产品特点：匀烤胶一体机适用于8英寸及以下晶圆的匀胶烤胶工艺可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体配置自动供胶系统,根据客户工艺选择供胶方式触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态高精度伺服控制系统,满足匀胶工艺要求可选配去边、背洗、光刻胶温控等功能专业匀胶腔体,通过气流控制可有效提升工艺指标可选配置空气净化单元（FFU）
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 旋转速度范围 | 20-5000rpm(可选最大10000rpm | 加速度范围 | 20-20000rpm/s |
| 转速精度 | ±1rpm | 光刻胶嘴数量 | ≤4路 |
| 匀胶工艺配方 | ≤ 100组(每组≤ 100步) | 热板参数 | 控温范围 50°℃-200℃温度均匀性≤±1% |
| 设备尺寸 | 1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H) |
匀烤胶一体机
产品介绍
适用于8英寸及以下晶圆的匀胶烤胶工艺
可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体
配置自动供胶系统,根据客户工艺选择供胶方式
触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态
高精度伺服控制系统,满足匀胶工艺要求
可选配去边、背洗、光刻胶温控等功能
专业匀胶腔体,通过气流控制可有效提升工艺指标
可选配置空气净化单元(FFU)
产品参数
旋转速度范围: 20-5000rpm(可选最大10000rpm)
加速度范围: 20-20000rpm/s
转速精度:±1rpm
(光刻胶嘴数量:≤4路
匀胶工艺配方:≤ 100组(每组≤ 100步)
热板参数:控温范围 50°℃-200℃温度均匀性≤±1%
设备尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)
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