产品名称：刻蚀机
产品型号：ET20
更新时间：2024-04-11
产品特点：刻蚀机适合于8英寸及以下晶圆的单片刻蚀工艺可选耐腐蚀PP柜体可按客户需求定制设备规格全自动摆臂、可配备多路刻蚀液触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态可选蚀刻液加热控温及FFU功能专用排风、排废系统、提高设备的安全性
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 旋转速度范围 | 0-3000rpm | 加速度范围 | 20-5000rpm/s |
| 转速精度 | ±1rpm | 刻蚀管路 | ≤2路(扇形或锥形喷嘴） |
| 设备尺寸 | 1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H) |
刻蚀机
刻蚀机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2012年5月14日启用。
产品介绍
适合于8英寸及以下晶圆的单片刻蚀工艺
可选耐腐蚀PP柜体
可按客户需求定制设备规格
全自动摆臂、可配备多路刻蚀液
触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态
可选蚀刻液加热控温及FFU功能
专用排风、排废系统、提高设备的安全性
产品参数
旋转速度范围：0-3000rpm
加速度范围：20-5000rpm/s
转速精度：±1rpm
刻蚀管路：≤2路(扇形或锥形喷嘴）
设备尺寸：1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
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