刻蚀机
适合于8英寸及以下晶圆的单片刻蚀工艺
可选耐腐蚀PP柜体
可按客户需求定制设备规格
全自动摆臂、可配备多路刻蚀液
触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态
可选蚀刻液加热控温及FFU功能
专用排风、排废系统、提高设备的安全性

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