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产品名称:刻蚀机

产品型号:ET20

更新时间:2021-07-01

产品特点:刻蚀机
适合于8英寸及以下晶圆的单片刻蚀工艺
可选耐腐蚀PP柜体
可按客户需求定制设备规格
全自动摆臂、可配备多路刻蚀液
触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态
可选蚀刻液加热控温及FFU功能
专用排风、排废系统、提高设备的安全性

刻蚀机

 刻蚀机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器,于2012年5月14日启用。

 

产品介绍

适合于8英寸及以下晶圆的单片刻蚀工艺
可选耐腐蚀PP柜体
可按客户需求定制设备规格
全自动摆臂、可配备多路刻蚀液
触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态
可选蚀刻液加热控温及FFU功能
专用排风、排废系统、提高设备的安全性

产品参数

旋转速度范围:0-3000rpm
加速度范围:20-5000rpm/s
转速精度:±1rpm
刻蚀管路:≤2路(扇形或锥形喷嘴)
设备尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)

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