欢迎来上海添时科学仪器有限公司!我们将为您提供周到的服务!
联系我们Contact us
公司名称:上海添时科学仪器有限公司
联系人:范先生
固话:021-54338590
手机:18016035557
地址:上海市松江区沪亭南路299弄38号

产品名称:全自动喷胶机

产品型号:SP200-AT

更新时间:2021-07-02

产品特点:全自动喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺
全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板
高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能
供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调
高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调
触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控

品牌其他品牌应用领域化工
处理晶圆25片(标准Cassette),自动mapping电缸有效行程300mm*300mm
线轨式机械手自动上下片可连续自动化工艺处理最大雾化流量8ml/min,程序可调
雾化颗粒直径30~50um温度均匀性≤±1%(温度范围:RT~150℃)
控温精度±0.5℃设备尺寸1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)

喷胶机

适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺
全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板
高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能
供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调
高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调
触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控

产品参数

处理晶圆:25片(标准Cassette),自动mapping
电缸有效行程:300mm*300mm
线轨式机械手自动上下片,可连续自动化工艺处理
最大雾化流量:8ml/min,程序可调
雾化颗粒直径:30~50um
温度均匀性:≤±1%(温度范围:RT~150℃)
控温精度:±0.5℃
设备尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H)

 相关同类产品:

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

上海添时科学仪器有限公司 版权所有  ICP备案号:沪ICP备14051797号-1 管理登陆  总流量:751727  网站地图  技术支持:化工仪器网

扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站