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产品名称:半柜式/全柜式清洗机

产品型号:CL200

更新时间:2021-07-02

产品特点:半柜式/全柜式清洗机
适合于8英寸及以下晶圆的单片清洗工艺
根据客户要求可选配高压、兆声、二流体等多种清洗工艺
不锈钢半柜式、柜式柜体,触摸式人机交互界面
耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统
可配置清洗液、氮气温控功能
可配置增压泵高压清洗
高精度清洗臂,可灵活设置清洗工艺

半柜式/全柜式清洗机

清洗机,用于冲洗过滤液压系统在制造装配、使用过程及维护时生成或侵入的污染物;也可以适用于对工作油液的定期维护过滤,提高清洁度,避免或减少因污染而造成的故障,从而保证液压系统设备的高性能、高可靠度和长寿命。

产品介绍
 适合于8英寸及以下晶圆的单片清洗工艺
根据客户要求可选配高压、兆声、二流体等多种清洗工艺
不锈钢半柜式、柜式柜体,触摸式人机交互界面
耐腐蚀透明观察窗,配置专业排风及排废系统
可配置清洗液、氮气温控功能
可配置增压泵高压清洗
高精度清洗臂,可灵活设置清洗工艺

产品参数

旋转速度范围:20-3000rpm

加速度范围:20-5000rpm/s

清洗管路:≤3

设备尺寸:1100mm(W)*600mm(D)*1100mm(H)

 

 

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