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产品名称:中小式(12片,6英寸基片)PECVD系统

产品型号:PECVD-8-16

更新时间:2021-11-15

产品特点:PECVD-8-16是一款平行板电容式PECVD系统,适用于中小式生产和实验,可放置12片6英寸基片。此系统组成:8英寸石英管管式炉,最高温度为1100℃,一个批量型石墨舟(可放12片基片),1000W射频电源,和一个4通道混气系统。此设备特别适用于太阳能电池和二维材料,扩产前测试实验。

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,能源,电子退温系统3块3000型欧陆(Eurotherm)仪表,可设置24段升降温段

炉体结构:

高纯氧化铝纤维作为炉膛材料

采用三可加热区,可达到600mm长的恒温区

外径304mm.内径203mm的石英管,带有不锈钢密封法兰

一个电动滑轨,上面装载石墨舟和样品

高纯石墨舟,可转载12片圆片或方形片,尺寸可达6英寸

• 1000W RF13.5MHz)等离子电源

• 4通道混气系统

可选购真空泵(油泵或无油泵)

电源要求:

•208-240VAC,单相,50/60Hz

• 9KW

石英管,法兰

外径304mm×内径203mm×长度1300mm

设备包含一根石英管,可购买备用石英管

配有SS304不锈钢法兰,带有KF40真空接口&阀门和进气口&出气口

安装有一套双滑轨,直流电机驱动法兰和样品舟移动进出石英管

 

石墨舟

石墨舟采用高纯石墨(产自日本)制作,带有RF电极

•12个插槽(4×3)可装载样品尺寸6英寸×6英寸×0.5mm厚度或直径6英寸圆片

客户可定制石墨舟(4×45×4

 

管式炉:

加热元件:NiCrAl合金丝

加热区:3个加热区(300mm300mm300mm

恒温区:600mm(+/- 2°C, 3个温区设置同样的温度)

工作温度:400-1100℃

最大加热冷却速率:10℃/min

退温系统:

•33000型欧陆(Eurotherm)仪表,可设置24段升降温段

•3K型热电偶

控温精度:+/- 0.1°c

包含软件和PC界面模块

射频等离子电源:

输出功率:20-1000W(可调节,稳定性± 1%

• RF频率:13.56MHz

匹配方式:自动匹配

冷却:空气冷却

噪音:<50dB

输入电源:110-240VAC50/60Hz

供气系统:

•4个质量流量计安装在一个移动架内,控制精度:±1.5%FS,重复精度:±0.2%FS

控制10~100SCCM

控制21~199SCCM

控制31~199SCCM

控制41~499SCCM

触摸屏控制,设置各种参数

安装有RS485接口,用于通过PC远程控制

每个工位的流量控制范围可按客户要求定制

真空泵,真空计:

一个防腐型数显真空计,测试范围可达到10-5torr

设备使用需要真空泵,可在本公司选购各种真空泵

净重:

500kg

质保:

一年保质期,针对电器和机械部分,不包括加热元件,石英管,密封圈


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