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产品名称:三温区1500℃PECVD系统

产品型号:OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL

更新时间:2021-11-15

产品特点:OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统,该设备由射频电源、1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统可广泛应用于生长纳米线、石墨烯及薄膜材料领域。

产品特点:

带有石英观察窗口的不锈钢真空密封法兰,便于观察等离子发光(图1);

射频电源可实现等离子增强,从而显著降低实验温度;

四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;

此款设备可安装控制模块,将温度设置和温度曲线导入到电脑(图23);

此款设备可选配控温精度为±0.1℃的欧陆仪表(图4)。

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基本参数:

最高工作温度1500℃<30min);连续使用温度1400℃

三个PID温度控制器及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃,带有超温和断偶保护;

•·输入电源: 208-240VAC,单相;最大功率:6.6 KW

内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层,可以提高设备加热效率及反射率,同时延长仪器的使用寿命。

注意:此设备不标配炉管。购买前请与我们销售确定炉管相关事宜。

 

射频电源:

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真空系统:

•·采用TRP-12的双旋真空泵;

• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

真空度可达10-2Torr

供气系统(可选):

客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%;

流量范围:

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电压:208-240VAC50/60Hz

气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

产品尺寸和重量:

炉体尺寸: 550mm L'380mm W'520mm H

炉体下端移动柜:1800mm L'600mm W'600mm H

净重:100 kg

运输重量:550 kg

承诺:

一年保质期,终身维护,不包括炉管,硅胶密封圈和加热元件


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