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产品名称:微型PECVD系统

产品型号:

更新时间:2024-04-11

产品特点:这款微型PECVD系统,其腔体为 3*dia× 16“L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。

产地类别国产应用领域化工,能源,电子
温控方面采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为:+/-1℃
    等离子源:

    等离子体射频电源:110V或220VAC,50/60Hz,<100W

    输出频率:13.56MHz

    三档射频功率大小:7.2W.10.5W和18W(可调节)

    腔体尺寸:3"ODx2.7"IDx16"L

    仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2torr(用机械泵)

    滑动法兰:

    •有一滑轨法兰安装于移动架上,以便于样品的放入和取出。

    样品可以放入加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度的均匀性。

    •加热圈尺寸:50mmODx40mmIDx70mm,可使样品达到的温度为400℃

    •加热圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩,以减小热量损失

    •温控方面:采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为:+/-1℃

    输入电源:AC220V

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    两通道混气系统:

    •混气箱上安装有两个浮子流量计,其量程为10-100SCCM

    •三个机械压力表:-0.1-0.15MPa,

    •混气箱上安装有304不锈钢针阀

    •配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

    •混气箱尺寸:340Lx300Dx180H,mm(13.4"x12"x7")!

    净重:141bs.

    真空和气体接口:

    标准的真空配置有

    •一套3”的不锈钢法兰(上面安装有KF-25的真空泵接口,一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)

    •一根KF25的波纹管(长度为1m)和三KF25卡箍

    •一个数字式真空显示计

    •等离子腔体中可以通入多种惰性性气体,如N2,Ar,Air,以及各种混合性气体。

    •可以调整腔体内的压力或是进气流量,确保等离子体达到样品处

    (注意:不可通入易燃易爆性气体)

    真空泵:

    •仪器中配有一双旋机械真空泵,其抽气速率为120L/min,

    进气口为KF25接口,可以使腔体内真空度小于30mTorr

    移动架:

    设备中配有—600Lx600Wx600H(mm)的移动架,整个CVD系统可以安置于其上面

    仪器尺寸:

    •等离子源:8.5"Hx10"Wx8"D

    •温控盒:4"Hx10"Wx8"D

    移动架:600x600x600mm

    重量:

    701b(包含真空泵)

    质保期:

    一年质保期(不包含石英管和密封圈)

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