等离子源：

等离子体射频电源：110V 或220VAC, 50/60 Hz,<100W

输出频率： 13.56 MHz

三档射频功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可调节）

腔体尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16"L

仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr（用机械泵)

滑动法兰：

•有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。

样品可以放入加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。

•加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃

•加热圈上套有一2" ID x 75mmL的石英罩，以减小热量损失

•温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为：+/-1℃

输入电源： AC220V

两通道混气系统：

•混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM

•三个机械压力表：-0.1-0.15 MPa,

•混气箱上安装有304不锈钢针阀

•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

•混气箱尺寸：340Lx300Dx 180H, mm （13.4"x12"x7")!

净重: 14 1bs.

真空和气体接口：
标准的真空配置有

•一套3"的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)

•一根KF25的波纹管（长度为1m)和三KF25卡箍

•一个数字式真空显示计

•等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2, Ar, Air,以及各种混合性气体。

•可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处

(注意:不可通入易燃易爆性气体)

真空泵：

•仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min,

进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr

移动架：

设备中配有— 600L x 600W x600H （mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面

仪器尺寸：

•等离子源： 8.5"Hx10"Wx 8"D

•温控盒： 4"Hx10"Wx 8"D

移动架：600 x600x600mm

重量：
701b(包含真空泵)

质保期：

一年质保期（不包含石英管和密封圈）