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产品名称:微型PECVD系统:

产品型号:

更新时间:2021-11-15

产品特点:这款小型PECVD,其腔体为 3*dia× 16“L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,能源,电子温控方面采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为:+/-1℃

等离子源:

等离子体射频电源:110V 220VAC, 50/60 Hz,<100W

输出频率: 13.56 MHz

三档射频功率大小: 7.2W. 10.5W 18W (可调节)

腔体尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16"L

仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr(用机械泵)

滑动法兰:

有一滑轨法兰安装于移动架上,以便于样品的放入和取出。

样品可以放入加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度的均匀性。

加热圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使样品达到的温度为400℃

加热圈上套有一2" ID x 75mmL的石英罩,以减小热量损失

温控方面:采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为:+/-1℃

输入电源: AC220V

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两通道混气系统:

混气箱上安装有两个浮子流量计,其量程为10-100SCCM

三个机械压力表:-0.1-0.15 MPa,

混气箱上安装有304不锈钢针阀

配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

混气箱尺寸:340Lx300Dx 180H, mm 13.4"x12"x7")!

净重: 14 1bs.

真空和气体接口:
标准的真空配置有

一套3"的不锈钢法兰(上面安装有KF-25的真空泵接口,一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)

一根KF25的波纹管(长度为1m)和三KF25卡箍

一个数字式真空显示计

等离子腔体中可以通入多种惰性性气体,如N2, Ar, Air,以及各种混合性气体。

可以调整腔体内的压力或是进气流量,确保等离子体达到样品处

(注意:不可通入易燃易爆性气体)

真空泵:

仪器中配有一双旋机械真空泵,其抽气速率为120L/min,

进气口为KF25接口,可以使腔体内真空度小于30mTorr

移动架:

设备中配有— 600L x 600W x600H mm)的移动架,整个CVD系统可以安置于其上面

仪器尺寸:

等离子源: 8.5"Hx10"Wx 8"D

温控盒: 4"Hx10"Wx 8"D

移动架:600 x600x600mm

重量:
701b(包含真空泵)

质保期:

一年质保期(不包含石英管和密封圈)


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