产品名称:微型PECVD系统
产品型号:
更新时间:2023-08-02
产品特点:这款微型PECVD系统,其腔体为 3*dia× 16“L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。
产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,能源,电子 |
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温控方面 | 采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为:+/-1℃ |
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