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产品名称:1200℃三温区三通道混气CVD系统

产品型号:OTF-1200X-80-III-F3LV

更新时间:2022-07-28

产品特点:OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到 10-2 torr。

品牌合肥科晶价格区间面议
仪器种类管式炉产地类别进口
应用领域化工,能源,电子,电气,综合

壳体结构

 · 双层壳体结构并带有风冷

 · 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,可以减少热量的损失,环保节能

 · 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命 

可开启式,更换炉管方便

功率

 5 KW 

电压 

AC 208-240V单相, 50/60 Hz 

加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 

最高工作温度

1200℃ 

连续工作温度

1100℃

最大加热速率 

 ≤20 ℃/min

石英管& 密封法兰

 · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内 

· 仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰,压力表和阀门(点击下面的图片查看详细的信息)

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加热区长度

· 三个温区长度: (880mm, 35" in total)

 · 温区 1: 220mm (8.6" ) 

· 温区 2: 440mm (17.3")温区 3: 220 mm (8.6") 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。

温控系统

· 三个精密温度控制器,可独立控温· PID控制方式,通过PWM固体继电器。

· 30段可编程智能温度调节仪,并可设置30段升降温程序. 

· 带有过热和断偶保护功能

控温精度 

+/- 1℃

真空密封系统

 · 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀).

 · 通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵,真空度可以达到10-4 torr. 

 · 漏气率 < 5 m-torr / min

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真空泵 

采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的0.3微米

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数字式真空显示计 

可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换

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气体流量计和压力表 

· 三个浮子流量计,能够检测到气体的流 

· 三路浮子量程分别为· 10-100 cc/min. 

· 16-160 cc/min. 

· 25-250 cc/min 

· 内部安装有一混气罐有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上,可以检测气体压力及混合槽的压力

阀门 

四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上,用于控制气体的流量

 外形尺寸 

· 炉子: 1100 X 450 x 670mm 

    底部移动架: 600x600x597mm

 开门断电 

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计

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净重 

约 90 Kg 

运输重量 

245 lbs

质保期

一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件 

使用注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa 

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa会更加精确安全 

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等

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