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产品名称:1700°C二通道混气高真空CVD系统

产品型号:GSL-1700X-HVC

更新时间:2022-07-28

产品特点:GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组度可达1600℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导

品牌合肥科晶价格区间面议
仪器种类管式炉产地类别进口
应用领域环保,化工,电子,电气,综合

壳体       

 · 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命     

 · 保温材料采用高纯氧化铝纤维,环保节能,减少热量的损失 

· 真空泵和气体混合系统位于移动架上,方便移动.仪器上已经安装高真空法兰,阀门,高真空机组

炉管

 · 材质: 高纯氧化铝陶瓷管 

· 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上

 · (标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L 

(选配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

功率

 6KW工作电压  AC 208-240V单相, 50/60Hz 

加热元件 

8 根1800°C grade MoSi2 heating element 

工作温度

 · 最高工作温度.: 1650°C(<2h) 连续工作温度.: 1600°C

升温速率

 ≤5°C/min 

加热区长度 

加热区长度: 457 mm (18") 

温控系统

 · 采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序

 · 控温精度: ±1°C                   

 · 热电偶: B 型,已经安装在炉内 

真空法兰 

· 一对不锈钢真空密封法兰已经安装

 · 法兰上带有一机械压力表

 · 两个精密针阀 

· 一个KF-25连接器 和KF-25 转 KF-40 抽气接口一个1/4"卡套接头

 外形尺寸

 550 x 380 x 520mm

功率        

100~110W 

工作电压 

AC 208-240V单相, 50/60Hz 

外形尺寸

 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

高真空机组壳体

 · 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 

· 最大承载量:       600 Lbs on top 

· 分子泵控制面板:   LCD 数字显示内装有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany: 

控制面板

 · 一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,启动)  

· 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率   

抽气速率

 · N2     33 L/s·  He     39 L/s   (2340L/minute)H2   32 L/s

工作范围 

 1000 mbar to <1E-7 mbar 

极限 

<1E-8 mbar (without any leaking )

质量流量控制器壳体

 · 采用 316不锈钢制作                                                    

 · 混气箱尺寸: Φ80X120mm   

· 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge),可根据客户要求定制

功率 

18W 

工作电压

 AC 208-240V, 单相, 50/60Hz


质保期 

一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件

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