产品分类CLASSIFICATION
详细介绍
品牌 | 合肥科晶 | 价格区间 | 面议 |
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仪器种类 | 管式炉 | 产地类别 | 进口 |
应用领域 | 化工,能源,电子,电气,综合 |
控制面板
· 蒸汽压力、ALD以及气体流量参数均可通过一6英寸接触屏由PLC进行控制
· 两个ALD进气阀
· 请点击下图查看控制面板(点击图片查看详细资料)
ALD进气阀
两个ALD脉冲电磁阀(最小可在10ms完成阀门的开启或关闭)
精密液体气相发生器
精密液体气相发生器包含在本系统中并且连接到ALD进气阀
双温区管式炉
· 连续工作的最高温度为1100℃
· 两个温区由两个独立的温控系统来控制,而且都为PID30段程序化控温
· 每个加热区长度为200mm,加热区总长度为400mm
· 炉管两端放置管堵时两温区的最大温度差为500℃
· 输入电压:208-240V AC,单向最大功率为4KW
防腐型数显真空计
· 测量范围:3.8x10-5 -1125 Torr
· 耐腐蚀
· 对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性
· 可实现快速的气体监测,响应时间较短易于更换插头及传感元件
真空泵(选配)
· 管内真空度可达10-2Torr 真空泵不包含在本系统内,如您进行CVD实验可点击下图选购无油涡旋真空泵
混气系统
· 可选购气液混合装置,用于CVD系统
· 可选购恒温控制模块
更新观念
· 您可采用ALD设备搭建等离子增强原子层沉积+化学气相沉积系统(PE-ALD+CVD)和等离子增强原子层沉积+物理气相沉积+化学气相沉积ALD+PVD+CVD),用于生长各类材料
质保期
一年保质期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)
质量认证
· 如您另付费用,我们可保证单台仪器通过TUV(UL61010)或CSA认证
注意事项
· 炉管内气压不可高于0.02MPa· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa 会更加精确安全· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击· 点击此处了解如何选择本公司石英/陶瓷管以及管式炉真空法兰本公司有权随时修改PE-CVD系统的设计不再另行通知,但我们保证修改之后的仪器质量可以达到和超过上述标准
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