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产品名称:3靶等离子溅射仪

产品型号:VTC-16-3HD

更新时间:2022-08-01

产品特点:VTC-16-3HD ,3靶等离子溅射仪,是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),控制面板采用触摸屏模式,基片极限尺寸为2″,放置样品的直径为Ø50mm,加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材,不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台,能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜,适用于实验室制备复膜的样品。

品牌深圳科晶价格区间面议
产地类别进口应用领域化工,石油,电子,电气,综合

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),控制面板采用触摸屏模式,基片极限尺寸为2″,放置样品的直径为Ø50mm,加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材,不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台,能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜,适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制,操作方便直观。该机设备小巧,占用实验室空间少,操作简单,应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。1、PLC控制面板,4.3″触摸屏,PID控温方式。
2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。
3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。
4、已通过CE认证。

产品名称VTC-16-3HD  3靶等离子溅射仪
产品型号
VTC-16-3HD
安装条件本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上
5、通风装置:不需要
主要参数
1、输入功率:110V/220V通用   2000W(含真空泵)
2、输出功率:1600VDC  50mA(最大电流)

3、石英罩:Ø160mm×120mm

4、样品台:Ø50mm(可选购加热型样品台,最高温度可到500℃;最长溅射时间不可超过5min)

5、真空泵:120L/M旋片式真空泵
6、进气口:装有精密可调针阀,以实现方便的调节进气量

7、靶材:尺寸直径Ø47mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,

 不可溅射氧化物、半导体、一些轻金属、Al、Zn、C等

产品规格

尺寸:360mm×350mm×3600mm;
重量:50kg

可选配件1、KF25真空接口、卡箍
2、不锈钢波纹管(600mm)
3、旋片式真空泵(120L/M)
4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材
5、加热型样品台


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