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PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机，其等离子腔体尺寸为 6“dia x 6.5“。特别适合对有机物和基片表面进行清洗，同时可以向腔体通入不同的气体（如氧气和惰性气体等），从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理，此款设备极为理想。
DZF-6020-HT系列产品是通过CE认证的真空干燥箱，其中一款前面板上带有一石英观察窗口，可在工作时观察腔体内部情况。此系列干燥箱Z高温度可以高达400℃。仪器上安装有50-500ml的浮子流量计，可以往腔体内通入各种气体，仪器壳体后面安装有各种标注接口，分别可与气瓶管道和真空泵相连接。保温材料采用氧化铝纤维，纯净度高，外壳采用加厚优质Q235钢板喷塑，仪器上安装有浮子流量计，可通气氛。
GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品，有自动控制的样品台，就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理，保证处理样品表面的*性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台（带有真空吸盘和控制盒）。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面，可处理的样品有单晶片，光学元件和塑料等，也可在常压下进行等离子
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