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产品名称:5英寸近距离蒸发镀膜炉

产品型号:(CSS)OTF-1200X-RTP-II-5

更新时间:2021-12-04

产品特点:OTF-1200X-RTP-II-5是一款快速热处理炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。5英寸近距离蒸发镀膜炉针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5“x5“。

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,电子

5英寸近距离蒸发镀膜炉技术参数:

炉体结构和真空腔体

  • 采用两个温度控制器,分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流量计,可向真空腔体中通入气体

  • 真空腔体为一高纯的石英管,其尺寸为:11" OD/10.8" ID x 9" Hmm

真空法兰

  • 真空法兰为316不锈钢制作

  • 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口

  • 底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口

  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,体内真空度可达10-2 torr.

加热元件和载样台

  • 由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部

  • 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节,调节范围为:2-50mm

  • 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率,加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中,(不锈钢壳体采用316不锈钢制作)

  • 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作为载样台,以达到较好的加热均匀性

  • 底部载样台上可放入5"x5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料

  • 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机(16L/m)

温控系统

  • 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区,可设置30段升降温程序

  • 每个温控系统都带有超温和断偶保护

  • PC通讯接口,软件可安装,可将控温程序和温度曲线导入到电脑中

  • 控温仪表操作视频

工作温度

  • 高工作温度为:800

  • 两个加热区之间的大温差为300

加热和冷却速率

  • 加热速率> 8ºC/s(每个温区单独加热)

  • 冷却速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)

热电偶

两个K型热电偶,安装在顶部和底部,都与氮化铝陶瓷片相接触

工作电压

208 - 240VAC, 单相,(需要20A的空气开关)

功率

3000W

可选

  • 实验时需要一个真空泵,可与本公司选购真空泵

  • 采用机械泵可使腔体内的真空度达到< = 10E-2 torr

  • 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境,可换购无油泵

  • 也可选购质子流量计混气系统,将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中

质保

一年质保期,终生维护(不包括密封圈、加热元件和石英管)


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