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1700℃二通道混气真空CVD气相沉积介绍:是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其最高工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。《查看更多》
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