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产品名称:小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

产品型号:TCVD--OTF-1200X-S2-5

更新时间:2019-11-18

产品特点:OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器Z高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,Z大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,大升温速率为100/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
 

技术参数

炉体结构

  • 两个炉体在一个滑动轨道上,炉体高工作温度1200℃
  • 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm
  • 一个滑动轨道安装在两炉体底部,可手动推动炉体滑动
  • 仪器中配有不锈钢密封法兰

总功率

2.5KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz, (需要20A的空气开关)

高工作温度

1200℃

连续工作温度

1100℃

加热&冷却速率

  加热速率:

 15°C/sec (RT - 150°C);

 10°C/sec (150°C - 250°C);

  7°C/sec (250°C - 350°C);

  4°C/sec (350°C - 500°C);

  3°C/sec (350°C - 550°C);

  2°C/sec (550°C - 650°C);
  1°C/sec (650°C - 800°C);
  0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷却速率:

15°C/sec (1000 - 950°C);

10°C/sec (950°C - 900°C);

7°C/sec (900°C - 850°C);

4°C/sec (850°C - 750°C);

2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C);

注意

大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的,将炉体加热到目标温度,然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后,滑动炉体,使样品暴露在加热区外,来实现快速冷却

 

加热区长度

每个炉体的加热区为200mm

恒温区

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加热元件

掺钼铁铬铝合金

炉管

  • 高纯石英管
  • 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

温度控制系统

  • 两个炉体都采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序。
  • 控温仪表操作视频
  • 设置有超温和断热偶报警
  • 包括2个K型热电偶(已安装在炉体上)
  • 可选:可选择控制模块MTS-02,可使用电脑来控制炉体的升降温
     (点击图片查看详细资料)

真空法兰

  • 仪器中包含一对不锈钢密封法兰,法兰上安装有机械压力表
  • 可选购KF25接口的法兰(提高抽气速率),数显真空计
     

滑轨长度

1200mm

真空度

  • 10E-5 torr(采用分子泵)
  • 10E-2 torr(采用机械泵)
  • 可在本公司选购真空泵
     

可选

  • 可选择电动滑轨,更好的控制快速升降温速率
  • 1-9通道质量流量计(MFC)控制的供气系统
  • 100W-500W的射频等离子源
  • 这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统
      

尺寸

1500 x 380 x 620 mm(炉体+滑轨)

净重

约80kg

质保期

一年质保期,终身维护(不包括炉管、密封圈和加热元件)

质量认证

  • CE认证
  • 所有电器元件(输入电压>24V)都通过了UL/MET/CSA认证
  • 本公司保证此设备通过TUV(UL61010)或CSA认证(需额外出认证费用)
        

使用注意事项

  • 炉管内气压不可高于0.02MPa
  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全
  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM
  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
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