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小型等离子清洗机
简要描述:

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

  • 产品型号:PCE-6
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-06-15
  • 访  问  量:3039

详细介绍

    PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

    技术参数

主要特点 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体。
选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。
参数 电源:AC220V  50/60Hz
输出功率:7.2W、10.2W、29.6W
真空泵功率:<500W
总功率:<600W 
射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
等离子腔体:高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗
真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵
极限真空度:50mtorr
通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2ArH2O2Air和混合气体等(根据材料性质选定)
产品规格 尺寸:400mm×300mm×300mm
重量:10.2kg
可选配件 2″-6″石英舟(盛放基片)
2-4通道质子或浮子混气系统
质保期 一年质保期,终身维护

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