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产品名称:小型等离子清洗机

产品型号:PCE-6

更新时间:2021-12-02

产品特点:PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

    PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。 

技术参数

    主要特点

  • 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
  • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
  • 设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体。
  • 选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

    参数

  • 电源:AC220V  50/60Hz
  • 输出功率:7.2W10.2W29.6W
  • 真空泵功率:<500W
  • 总功率:<600W 
  • 射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
  • 等离子腔体:高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗
  • 真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵
  • 极限真空度:50mtorr
  • 通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2ArH2O2Air和混合气体等(根据材料性质选定)

    产品规格

  • 尺寸:400mm×300mm×300mm
  • 重量:10.2kg

    可选配件

  • 2″-6″石英舟(盛放基片)
  • 2-4通道质子或浮子混气系统

  质保期

一年质保期,终身维护

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