产品名称：小型等离子清洗机
产品型号：PCE-6
更新时间：2022-12-07
产品特点：PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
| 主要特点 | 通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。 |
| 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。 | |
| 设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体。 | |
| 选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。 | |
| 参数 | 电源：AC220V 50/60Hz |
| 输出功率：7.2W、10.2W、29.6W | |
| 真空泵功率：<500W | |
| 总功率：<600W | |
| 射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节 | |
| 等离子腔体:高纯石英腔体,Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗 | |
| 真空泵：24L/min,直连式双旋真空泵 | |
| 极限真空度：50mtorr | |
| 通入气体:可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定） | |
| 产品规格 | 尺寸：400mm×300mm×300mm |
| 重量：10.2kg | |
| 可选配件 | 2″-6″石英舟（盛放基片） |
| 2-4通道质子或浮子混气系统 | |
| 质保期 | 一年质保期,终身维护 |
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