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产品名称:高真空蒸发镀膜仪

产品型号:-GSL-1800X-ZF4

更新时间:2021-12-02

产品特点:GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀一些对氧较敏感的金属膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸镀各种氧化物材料。此款蒸镀仪安装有4个蒸镀加热头.对于实验研究,这是一款镀膜效果理想并且性价比较高的实验设备。

技术参数

电压

  • 输入:208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 单相  ( < 3200W )
  • 输出: 0 - 8VAC (可调)大电流: 400A (可调)
  • 大功率:4000W(包括真空泵)

真空腔体

  • 不锈钢腔体:280mm ID. x 375 mm H,腔体内壁做了电抛光处理
  • 有一个150mm的观察窗口(采用无氧铜密封圈密封)
  • 一个RF-150法兰,便于放入样品。
  • 一个KF-40法兰,可与真空泵相连接
  • 四个CF-35法兰,便于安装真空计、电极和其他用途备用

真空泵

  • 仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵和前级泵
  • 前级泵抽速:600L/S
  • 真空度:5.0x10-6 torr(泵开启后40分钟)
  • 极限真空度:5.0x10-7  torr(烘烤温度为60-80℃)
  • 漏气率:5.0x10-7Pa./S

蒸发加热源 样品台

  • 5个水冷电极安装在腔体底部,可支持4个钨加热舟
  • 每个钨舟上面安装有可移动的挡板,所以实验时可以防止各物料之间的污染,样品台安装在真空腔体顶部,直径为150mm
  • 样品台可以旋转和加热,旋转速度0-20rpm,加热高温度600℃

  • 蒸发源与样品台的距离为250mm

测厚仪

  • 一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部
  • 测量精度为:1.0Å

循环水冷机

  • 仪器使用过程中需要通冷却水,为了节约用水,强烈建议使用循环水冷机
  • 所需水流量>15L/min

   

控制单元

  • 真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内
  • 控制单元和真空腔体独立分开,以便于操作

外形尺寸

L600mm× W860mm× H1500mm

净重

600kg

质保

一年质保期,终生维护

质量认证

CE认证

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