产品名称:1英寸小型磁控射频溅射镀膜仪--VTC-1RF
产品型号:
更新时间:2024-04-24
产品特点:VTC-1RF是一款小型台式单靶等离子溅射仪(射频磁控型),配有1英寸的磁控等离子溅射头和射频(RF)等离子电源,此款设备主要用于制作非导电薄膜,特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索,它是一款廉价并且高效的实验帮手。
VTC-1RF是一款小型台式单靶等离子溅射仪(射频磁控型),配有1英寸的磁控等离子溅射头和射频(RF)等离子电源,此款设备主要用于制作非导电薄膜,特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索,它是一款廉价并且高效的实验帮手。
我们用此设备得到择优取向的ZnO薄膜
技术参数
输入电源 |
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等离子源 |
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磁控溅射头 |
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真空腔体 |
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载样台 |
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真空泵 | 可选用直联式双极旋片泵,也可选用德国制作的分子泵系统
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薄膜测厚仪 |
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质保和质量认证 |
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使用注意事项 |
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