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产品名称:4路质子混气管式PECVD系统带滑轨

产品型号:OTF-1200X-50-4CLV-PE

更新时间:2021-11-15

产品特点:为使化学反应能在较低的温度下进行,常利用等离子体的活性来促进反应,这种方法称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。加热炉设备的内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可提高设备的加热效率,同时也可延长设备的使用寿命。

外型尺寸:

**高  2080mm*700mm*1520mm

管炉规格:

外径:100mm

内径:96mm×长:1800

加热炉主要参数:

最高温度:1200℃

额定工作温度:1100℃

推荐升温速率:≤10℃/min

加热区长度:L总:440mm(双温区包括隔环)

温区一:200mm

温区二:200mm

加热炉额定功率:3KW

滑动方式:电动控制

滑动最大行程:600mm

电压:单相AC 208 - 240V, 50HZ

温控系统:

欧陆EPC3000仪表

模糊PID控制和自整定调节功能

智能化24段可编程控制

带过电流过电压保护漏电保护

电气元件及电缆,冷压端子均符合UL认证标准

控温精度:±0.1℃

控温:K型热电偶两根

通讯协议:modbus RTU

软件控制:

可视化运行状态监控

温控系统,气路系统,真空系统,射频系统,滑动炉体,开合炉体,压力控制,全自动化,

数据记录、过程记录集成一体

•“预制工作流程,一键自动运行

具有恒压功能,可以设定气体流量和恒定压力

压力控制:采用TRP-12(抽速3L/s)的双旋真空泵,在总进气量为100-150sccm,管内压力为 100-130pa,如总进气量高于150sccm时,请更换抽速更高的泵,测试为总进气量为1L/min(满足四路质量流量计全开状态时),使用VRD-60泵(抽速18L/s),最高真空为120-130pa(满足起辉条件),可在任意供气量下设定任意气压值(该气压值需大于搭配泵体的最大真空值),气压值可自动稳定

新式快捷法兰:

可方便快速取放物料

射频电源:

• 500W射频电源

•0--500W可调(稳定性±1%

射频频率:13.56MHZ

自动匹配 风冷

噪音<50dB

输入电压:AC108-250V

供气系统:

四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%

流量范围:一路0-100 sccm

二路0-200 sccm

三路0-200 sccm

四路0-500 sccm

注:接入供气系统的气源需搭配减压阀,将气压降至2mpa以下

真空系统:

搭配TRP-12的双旋真空泵(抽速3L/s)(总进气量小于150sccm,该泵可以达到等离子发生真空度)

搭配TRP-60双旋真空泵(抽速10L/s)(总进气量1L/min,该泵可以达到等离子发生真空度)

• KF25卡箍及波纹管用于连接法兰与真空泵

真空度可达10-2torr

备注:

注:采用氩气高于射频功率200w情况下,需特殊说明,设备需要特殊改造及测试;(有法兰过热情况)

 


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