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产品名称:双炉体滑动PECVD系统-循环手套箱

产品型号:OTF-1200X-PESDSF-50

更新时间:2022-11-30

产品特点:OTF-1200X-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统,连接循环手套箱。此款设备中石英炉管与循环手套箱连接,可利用CVD方法,将样品处理后直接移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式,可在实验室中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域环保,能源,电子电源AC220,50Hz

    手套箱特点:

    •真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管连接;

    •两个炉体在一个滑轨上,可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果!

    加热炉参数:

    •连续工作温度:1100℃

    •两个炉体都可设置30段升降温程序

    •高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)

    •电源:AC220,50Hz   最大功率:3KW

    手套箱参数:

    •带有除水系统:保持水含量<2ppm

    •真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管连接

    射频电源:
 

 

image.png 

    真空系统:

    •·采用TRP-12的双旋真空泵;

    •KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

    •真空度可达10-2Torr。

    供气系统(可选):

    •客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

    •流量范围:

 


image.png 

    •电压:208-240V,AC,50/60Hz;

    •气体进出口配件:6mmOD的聚四氟管或不锈钢管;

    •不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

    •PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

    产品尺寸:

    炉体尺寸:1600mm(L)-430mm(W)-500mm(H)

    手套箱尺寸:780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)

    质保:

    一年保质期,终身维护,不包括炉管,硅胶密封圈和加热元件

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