产品名称:滑动式双温区PECVD
产品型号:OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL
更新时间:2021-11-15
产品特点:OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含等离子射频电源,80mm 0D1800mm L的滑动式双温区管式炉,4通道质量流量供气系统和机械泵机组,可用于生长纳米或石墨烯材料。
品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
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应用领域 | 环保,能源,电子 |
产品特点:
•射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;
•滑轨式可快速加热和快速冷却;
•两个加热区,温度梯度最大可达 200°c;
•可在温度范围较大的条件下制备材料,如碳、Zn0纳米管或纳米线及单层石墨烯等。
加热炉参数:
•最高温度:1200°C(<30min),连续工作温度:1100℃;
•两个PID温度控制器及30段可编程温控系统;
•输入功率:208-240V,单相,最大功率:3KW;
•高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗;
•炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管。
射频电源:
真空系统:
•·采用TRP-12的双旋真空泵;
• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;
•真空度可达10-2Torr。
供气系统(可选):
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);
•流量范围:
•电压:208-240V, AC, 50/60Hz;
•气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出;
• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸和重量:
设备总体尺寸:2200mmL 800mmW 1500mmH
净重:610kg
注意:
采用氩气高于射频功率200W情况下,需特殊说明:设备需要特殊改造几测试,(有法兰过热情况)
质保:
一年保质期,终身维护,不包括炉管,硅胶密封圈和加热元件
因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
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