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产品名称:滑动式双温区PECVD

产品型号:OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL

更新时间:2021-11-15

产品特点:OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含等离子射频电源,80mm 0D1800mm L的滑动式双温区管式炉,4通道质量流量供气系统和机械泵机组,可用于生长纳米或石墨烯材料。

产品特点:

射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;

滑轨式可快速加热和快速冷却;

两个加热区,温度梯度最大可达 200°c;

可在温度范围较大的条件下制备材料,如碳、Zn0纳米管或纳米线及单层石墨烯等。

加热炉参数:

最高温度:1200°C<30min),连续工作温度:1100℃

两个PID温度控制器及30段可编程温控系统;

输入功率:208-240V,单相,最大功率:3KW

高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗;

炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管。

射频电源:

 

image.png 

真空系统:

•·采用TRP-12的双旋真空泵;

• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

真空度可达10-2Torr

供气系统(可选):

客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%;

流量范围:

image.png 

电压:208-240VAC50/60Hz

气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

产品尺寸和重量:

设备总体尺寸:2200mmL 800mmW 1500mmH

净重:610kg

注意:

采用氩气高于射频功率200W情况下,需特殊说明:设备需要特殊改造几测试,(有法兰过热情况)

质保:

一年保质期,终身维护,不包括炉管,硅胶密封圈和加热元件

因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内


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