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产品名称:真空旋转涂膜机

产品型号:VTC-100PA

更新时间:2021-11-17

产品特点:VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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真空旋转涂布机

                        

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

 

 

 

主要特点

•真空吸附方式固定样件,操作简便。

•使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。

•根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。

•设有12组程序,每组包含6个运行阶段。

•电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

•50W/24V 直流电机

•适于在Ar气环境中工作(真空泵放置在手套箱外)

 

•电机功率:50W/24V

•速度范围:500-10000rpm

•程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段

•增减速率设置:100rpm/s-2000rpm/s

•时间范围:0-60s

•吸盘:Φ19mm、Φ60mm

进气口:

上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆

 

可选加热部分

上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,最高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。

 

产品尺寸:450mm×280mm×340mm;

 

重量20kg

 

可选配件:过滤器(真空泵用)

 

保修期:一年保修,终身技术支持。

 

标准配件

1   真空吸盘(含O型圈)     2个

2 中心定位器(含4个定位柱) 1个

3 滴胶注射器(20ml)          1个

4 注射器支架                 1个

5 AP-1400V无油真空泵         1台

6 橡胶管(含卡箍)         1根


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