当前位置:首页 > 产品中心 > 实验平台及科研代工服务 > 气路系统服务
产品分类CLASSIFICATION
本实验平台搭载半导体级专用气路与高精度流量控制系统,配置 8 路独立供气通道,可实现多气体的精准配比与稳定输送,为各类精密科研实验提供安全、可控的用气保障。平台常备氩气、氢气、甲烷、乙烯、乙炔、氧气、氮气、氦气等多种高纯实验气体,适配薄膜沉积、材料烧结、气相合成、气氛退火等多种材料制备与热处理工况,可满足二维材料生长、薄膜制备、粉体改性等多场景实验用气需求,助力科研项目高效开展。
关注公众号