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科研供气方案
简要描述:

本实验平台搭载半导体级专用气路与高精度流量控制系统,配置 8 路独立供气通道,可实现多气体的精准配比与稳定输送,为各类精密科研实验提供安全、可控的用气保障。平台常备氩气、氢气、甲烷、乙烯、乙炔、氧气、氮气、氦气等多种高纯实验气体,适配薄膜沉积、材料烧结、气相合成、气氛退火等多种材料制备与热处理工况,可满足二维材料生长、薄膜制备、粉体改性等多场景实验用气需求,助力科研项目高效开展。

  • 产品型号:CJYGAS-8
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2026-06-12
  • 访  问  量:37

详细介绍

品牌TIMES/添时应用领域科研项目
硬件配置与供气能力

平台搭载 8 路独立供气通道,采用经过电解抛光与钝化处理的 316L 不锈钢管路,搭配进口高精度质量流量控制器(MFC),可实现从 sccm 到 slm 级别的精准流量调节与闭环控制,确保气体配比,杜绝杂质污染与流量波动,为薄膜沉积、气相合成等对气源稳定性要求高的实验提供保障。

常备气源与适配场景

平台常备 8 类高纯实验气体:惰性气体(氩气、氮气、氦气)、还原性气体(氢气)、反应性气体(氧气、乙炔)及碳源气体(甲烷、乙烯),所有气体均通过专用减压阀、过滤器与单向阀组成的安全模块进行二次处理,有效去除颗粒杂质与水分,确保供气品质。这些气源可全面适配:
  • 薄膜沉积(如磁控溅射、PECVD、MOCVD 工艺)

  • 材料烧结与热处理(真空 / 气氛保护烧结、气氛退火、回火工艺)

  • 气相合成(CVD 二维材料生长、碳纳米管制备)

  • 粉体改性与还原(金属氧化物还原、气氛改性处理)

    等多种材料制备工况,覆盖从基础材料表征到功能薄膜制备的全流程用气需求。

安全与可靠性保障

系统配备多级安全防护机制,包括防回火装置、紧急切断阀、气体泄漏报警与压力监测模块,可实现对供气压力、流量、泄漏状态的实时监控与异常联动保护,在保障实验连续性的同时,大程度降低安全风险,为科研人员提供稳定可靠的实验环境






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