产品名称：2单靶直流磁控溅射仪
产品型号：VTC-16-SM
更新时间：2024-04-24
产品特点：VTC-16-SM是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪，包含一个2英寸水冷靶头和可旋转样品台，外形小巧，性价比高，是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备，可选配各种金属靶材和真空泵。
| 输入电压 | AC 208V ~ 240V, 50/60 Hz |
| 输入功率 | < 2000W |
| 输出功率 | 电压：1600VDC;大电流：150mA |
| 腔体 | 石英腔体：167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height |
| 2英寸带水冷磁控溅射头 | |
| 溅射头和样品台 | 一个直径50mm不锈钢样品台,样品台可旋转,旋转速率0 - 5 RPM |
| 配有一手动操作的挡板，包含靶头支撑架 | |
| 样品台和靶头之间的距离可以调节，调节范围：60-100mm | |
| 控制面板 | 6" PLC集成触摸屏控制面板，可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度 |
| 双极旋片真空泵VRD-8，KF25接口 | |
| 附件（可选） | KF25不锈钢波纹管 |
| 10L/min 循环水冷机冷却磁控靶头 | |
| 气氛 | 含一个控制进气的针阀和一个放气阀 |
| 靶材尺寸: 50 mm dia. x 0.50 -2 mm | |
| 靶材 | 适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Cr,Ti,Sn,Ni等金属，可选购 |
| 可选配件 | 膜厚监测仪 |
| 分子泵，可获得高真空， >10E-5 torr | |
| 为获得好的薄膜强度，建议镀膜前用等离子清洗机对基片进行清洗。 | |
| 500度样品加热台 | |
| 体积 | ( L 440mm×W 330mm × H 290mm |
| 净重 | 20 kg ( not included pump ) |
| 质保和证书 | 一年质保，终生维护 |
| CE认证 | |
| 磁控溅射镀膜知识 | 与客户分享新的磁控溅射镀膜技术，请点击文章链接- Plasma Sputter Coating. |
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