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产品名称:小型等离子清洗机

产品型号:

更新时间:2024-01-31

产品特点:小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内*清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

    小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内*清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

    技术参数

主要特点    采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
   可短时间内*清洗掉有机污染物。
   清洗程度可达到分子级。
   可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
   清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌.
   样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻.
   广泛应用于光学,光电子学,电子学,材料科学,生命科学,高分子科学,生物医学,微观流体学等领域.
参数    电压:AC220V  10A
   消耗功率:<500W(包括真空泵)
   RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz
   腔体:Φ190mm×98mm
   石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm
   内腔:Φ165mm×55mm
   清洗电极:Φ120mm
   样品台:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
   样品台与电极间距:15mm-50mm可调
   抽气管:Φ12mm
   极限真空度:0.1Pa
   工作真空度:60Pa-500Pa
   气路数量:2路(选装)
   流量控制器数量:1、2
   流量显示仪:2通道
   气路接口:Φ6mm
   加热样品台:Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)
   冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa
   工作环境:温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m
产品规格  尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
  重量:20kg(不含真空泵)
可选配置    加热样品台
   流量控制器(量程10、50、100,多可增加2个通道)

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