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产品名称:小型等离子清洗机

产品型号:

更新时间:2021-12-02

产品特点:小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

    小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
技术参数

  主要特点

  •    采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
  •    可短时间内彻底清洗掉有机污染物。
  •    清洗程度可达到分子级。
  •    可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
  •    清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。
  •    样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。
  •    广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

  参数

  •    电压:AC220V  10A
  •    消耗功率:<500W(包括真空泵)
  •    RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz
  •    腔体:Φ190mm×98mm
  •    石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm
  •    内腔:Φ165mm×55mm
  •    清洗电极:Φ120mm
  •    样品台:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
  •    样品台与电极间距:15mm-50mm可调
  •    抽气管:Φ12mm
  •    极限真空度:0.1Pa
  •    工作真空度:60Pa-500Pa
  •    气路数量:2路(选装)
  •    流量控制器数量:12
  •    流量显示仪:2通道
  •    气路接口:Φ6mm
  •    加热样品台:Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)
  •    冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa
  •    工作环境:温度5-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m

  产品规格

  •  尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
  •   重量:20kg(不含真空泵)

  可选配置

  •    加热样品台
  •    流量控制器(量程1050100,多可增加2个通道)
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