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产品名称:小型滑动PECVD管式炉系统

产品型号:OTF-1200X-50S-PE-SL

更新时间:2021-11-15

产品特点:OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源,直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统,且设备性价比较为理想

产品特点:

一射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;

可通过炉体滑动达到快速升温和降温;

可通过射频电源的频率来控制薄膜的应力;

可通过工艺调节来控制化学计量;

可沉积各种材料,如SiOxSiNxSiOxNy(a-Si:H)等。

加热炉参数:

最高温度:1100℃<30min):连续工作温度:1000℃

•PID溫度控制器及30段可編程温控系统,控瀝精度:±1℃

输入电源:208- 240V AC,功率:1.2KW

炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤維,并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命

射频电源:

 

image.png 

真空系统:

•·采用TRP-12的双旋真空泵;

• KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

真空度可达10-2Torr

供气系统(可选):

客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%;

流量范围:

image.png 

电压:208-240VAC50/60Hz

气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

• PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

产品尺寸和重量:

尺寸:1500mm L'600mm W^1200mm H

•·净重:160 kg

运输重量:220 kg

质保:

一年保质期,终身维护,不包括炉管,硅胶密封圈和加热元件


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