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产品名称:8.5英寸等离子清洗机

产品型号:PCE-80

更新时间:2021-12-04

产品特点:PCE-80是一款较大型的8.5英寸等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 “dia x 12““L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

品牌其他品牌应用领域环保,化工,电子
最大射频功率 100 W

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8.5英寸等离子清洗机


PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

8.5英寸等离子清洗机产品特点




最大射频功率: 100 W
● 真空泵功率: < 500W
● 总功率: < 600W
● 电源:AC 220V , 50Hz

射频电源:

●射频功率可在 0 - 100W之间调节

●频率: 13.56 MH

●可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验


等离子腔体:

●8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体

●铝制折叠式法兰来进行真空密封

●法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

●此设备完全屏蔽射频辐射,零射频泄漏

通入气体:

●等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

●不能使用易燃qi体及腐蚀性气体。


可选:

●可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片

●可选购2-4通道质子或浮子混气系统

●空气系统模块

控制面板:

●通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.

●仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量


真空泵(选配):

●仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵

●极限真空度为50mTorr(参考值,具体请点击)

●真空泵模块


外形尺寸:

620 L ×600 W ×600 H, mm


相关应用:

●请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率

●对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 - 30W之间

●对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在35 - 80W之间

●可根据要求提供300W高功率射频电源



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