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产品名称:加热型紫外臭氧清洗机

产品型号:PCE-80

更新时间:2021-11-25

产品特点:PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 “dia x 12““L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

品牌其他品牌应用领域环保,化工,电子
功率最大350W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

清洗

 

 

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加热型紫外臭氧清洗机

 

 

PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。



 

 

 

应用

● 去除分子级别的污染物
● 紫外光固化粘合剂
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蚀
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各种基片,如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片


主要参数

● 功率:最大350W

● AC 208~240V,单相 50/60Hz

 

紫外灯

● 可发出双波长的水银灯

● 功率:55W

● 发出光的波长:254 nm 和 185 nm

● 使用寿命:2500 小时(可更换)

● 照射区域:200 x 200 mm

 

排气口

● 直径为80mm的排气口安装在仪器后端

● 请将橡胶管与排气口连接,将臭氧排出到实验室外

● 仪器中不包含橡胶管

 

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

净重28kg

腔体&样品台

● 不锈钢壳体

● 抽屉式样品台,以便放样取样

● 样品台面积310 mm x 320 mm

● 臭氧通风装置安装在腔体上

● 样品台与紫外灯的距离:20mm -40mm(可调)

● 样品台可以加热,最高温度可达150℃

● 可设置20段升降温程序,控温精度为+/-1℃

● 设备运行时间:0.01 秒- 99.9小时

 

环境要求

● 仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;

● 温度范围:41-104华氏度;

● 最大相对湿度80%,最高87华氏度,104华氏度线性降至50%相对湿度;

● 主电源波动不超过额定电压的10%;

● 污染等级2; 臭氧水平(环境)测量<45 ppb。

保修期 一年保修,终身技术支持。

特别提示:

1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


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