薄膜电池制备系统
双靶磁控溅射仪
单靶磁控溅射仪
三靶磁控溅射仪
气氛炉
管式气氛炉
可开启式三体不锈钢手套箱
加热型紫外臭氧清洗机
8.5英寸等离子清洗机
500℃温度可控型液压平板热压机
加热型辊压机
红外加热喷雾旋转涂膜机
混合涂布机
混合式涂布机
超声喷雾热解涂膜机
双靶高真空磁控溅射仪
真空旋转涂膜机
双桨行星真空搅拌机
微型PECVD系统
1200℃三温区PE粉体回转炉系统
三温区1500℃PECVD系统
1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统
带有预热系统的滑动PECVD
双炉体滑动PECVD系统-循环手套箱
滑动式双温区PECVD
小型滑动PECVD管式炉系统
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